| 发明名称 |
BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATINGS |
| 摘要 |
The present invention relates to bottom antireflective coatings.
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| 申请公布号 |
US2008032229(A1) |
申请公布日期 |
2008.02.07 |
| 申请号 |
US20070873522 |
申请日期 |
2007.10.17 |
| 申请人 |
TOUKHY MEDHAT A;OBERLANDER JOSEPH E |
发明人 |
TOUKHY MEDHAT A.;OBERLANDER JOSEPH E. |
| 分类号 |
G03C1/76;G03F7/09 |
主分类号 |
G03C1/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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