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发明名称 VERFAHREN, UM EINE HALBLEITERVORRICHTUNG MIT EINEM UNGEORDNETEN UEBERGITTER HERZUSTELLEN.
摘要
申请公布号 DE3873283(D1) 申请公布日期 1992.09.03
申请号 DE19883873283 申请日期 1988.11.25
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MURAKAMI, TAKASHI C/O MITSUBISHI DENKI K. K.;OTAKI, KANAME C/O MITSUBISHI DENKI K. K.;KUMABE, HISAO C/O MITSUBISHI DENKI K. K., ITAMI-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L21/223;H01L21/18;H01S5/00;H01S5/20;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/225;H01L33/00;H01S3/19 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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