发明名称 SEMICONDUCTOR LOGIC INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0333667(A) 申请公布日期 1991.02.13
申请号 JP19890168663 申请日期 1989.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 TSUCHIYA HISAYUKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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