| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF SURFACE DEFECT AT ALUMINUM MAGNETIC DISK SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04276641(A) |
申请公布日期 |
1992.10.01 |
| 申请号 |
JP19910038659 |
申请日期 |
1991.03.05 |
| 申请人 |
SHOWA ALUM CORP |
发明人 |
KUROZUMI TADATOSHI;SATO YOICHI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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