| 发明名称 |
PROCESSING TUBE CAP FOR VERTICAL TYPE FURNACE, AND HEAT TREATMENT METHOD OF VERTICAL TYPE FURNACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11102875(A) |
申请公布日期 |
1999.04.13 |
| 申请号 |
JP19970263745 |
申请日期 |
1997.09.29 |
| 申请人 |
ASAHI KASEI MICRO SYST CO LTD |
发明人 |
TAKAMURA HIDEYUKI;ISHIBASHI YASUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
