接触窗插塞结构及其制备方法

摘要

一种应用于棋盘式动态随机存取记忆体之接触窗插塞结构，其包含一体部、二连接于该体部之脚部以及一设置于该二脚部间之介电区块。各脚部系藉由一掺杂区电气连接至一深沟渠电容器，且该掺杂区系由一浅沟隔离结构予以电气隔离。较佳地，该体部与该二脚部系由相同之导电材料(例如掺杂多晶矽)构成，而该介电区块系由硼磷矽玻璃构成。特而言之，该接触窗插塞结构可利用双重镶嵌导线技术予以制备。由于该接触窗插塞结构可大幅地降低与一字元线之重叠面积，因而可有效地降低位元线耦合效应现象。