发明名称 |
膨胀石墨膜以及使用了该膨胀石墨膜的碳质坩埚的保护方法以及单晶拉制装置 |
摘要 |
本发明提供一种提高了抗拉强度的膨胀石墨膜。另外,提供一种碳质坩埚的保护方法以及单晶拉制装置,在碳质坩埚的保护方法中,将提高了抗拉强度的膨胀石墨膜用作碳质坩埚的中垫,由此作业时间显著地降低,且能够不使膜破损而无间隙地覆盖在坩埚的内表面,并且适用于坩埚的大型化。膨胀石墨膜(10)的特征在于,在由膨胀石墨材料构成的基材(11)的至少单面上以层叠状形成有由碳纤维构成的增强材料(12)。所述碳质坩埚的保护方法的特征在于,将膨胀石墨膜(10)夹设在石英坩埚和载置该石英坩埚的碳质坩埚之间而用作覆盖碳质坩埚的内表面的中垫。 |
申请公布号 |
CN101657570A |
申请公布日期 |
2010.02.24 |
申请号 |
CN200880012190.1 |
申请日期 |
2008.04.11 |
申请人 |
东洋炭素株式会社 |
发明人 |
广濑芳明;幸哲也 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I;C04B35/52(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
1.一种膨胀石墨膜,其特征在于,在由膨胀石墨材料构成的基材的至少单面上以层叠状形成由碳纤维构成的增强材料。 |
地址 |
日本国大阪府 |