| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen, insbesondere von Mikrolinsen, in einem Substrat mittels eines Ätzprozesses vorgeschlagen, wobei sich zunächst auf dem Substrat (10) bereichsweise mindestens eine Urform (11) mit einer bekannten Uroberflächenform befindet. Der Ätzprozeß weist mindestens eine erste Ätzabtragsrate a1 und eine zweite Ätzabtragsrate a2 auf, die materialabhängig sind, und von denen mindestens eine zeitlich veränderbar ist. Durch den Ätzprozeß wird die Urform (11) in eine Zielform (12) überführt, wobei die Uroberflächenform der Urform (11) und die zu erreichende Zieloberflächenform der Zielform (12) vor Beginn des Ätzprozesses bekannt sind. Zum Erreichen der Zieloberflächenform wird zumindest eine der Ätzraten a2 oder a1 über eine vor Beginn des Ätzprozesses als Funktion der Ätzzeit berechnete Änderung mindestens eines Ätzparameters eingestellt.</p> |
