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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS6396937(A) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 JP19860242499 申请日期 1986.10.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI JURO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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