发明名称 SUBSTRATE CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10163146(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960338872 申请日期 1996.12.03
申请人 SUGAI:KK 发明人 KOYANAGI TETSUO;YAMAGUCHI HIROSHI;SUEMATSU SHUICHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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