发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND FABRICATION PROCESS THEREOF
摘要
申请公布号 MY8600548(A) 申请公布日期 1986.12.31
申请号 MY19860000548 申请日期 1986.12.30
申请人 HITACHI LTD. 发明人 NOBUYOSHI TANIMURA;TOKUMASA YASUI
分类号 G11C11/417;G11C11/412;H01L21/02;H01L21/3215;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8244;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/11;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G11C11/417
代理机构 代理人
主权项
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