一种MEMS光开关

摘要

本实用新型公开了属于微光机电装置领域的一种以压电多层薄膜驱动的MEMS光开关，是在弹性衬底上沉积压电复合膜层形成多级折叠级联的驱动臂，并和反射微镜垂直连接构成单个MEMS光开关。其驱动臂是由弹性衬底及衬底上的缓冲材料层上面复合叠加上下薄膜电极层及上下电极引线、在两薄膜电极层之间的压电薄膜层及上薄膜电极层上面的绝缘介质层组成。由于相邻驱动臂所加电压相反，在每个驱动臂的端部产生最大垂直位移，实现垂直反射微镜的不同上下垂直位移。并且由于驱动位移和偏转角度向远离固定端的方向逐级叠加，从而在较低的应用电压下可获得较大的反射微镜垂直位移。具有较大的驱动力和工作频率。其结构简单，具有很高的器件可靠性，较高的制造成品率，易加工，适合批量生产。

主权项

1.一种MEMS光开关，所述MEMS光开关采用多级折叠级联的压电复合弹性悬浮薄膜驱动臂驱动垂直连接反射微镜构成，其特征在于：所述MEMS光开关是在弹性衬底1上沉积压电复合膜层形成多级折叠级联的驱动臂2，和垂直反射微镜3垂直连接构成单个MEMS光开关；其驱动臂2是由弹性衬底1及在衬底1上的缓冲材料层4上面复合叠加下薄膜电极层5、上薄膜电极层7、下电极引线9、上电极引线10、在两薄膜电极层之间的压电薄膜层6及绝缘介质层8组成。