发明名称 METHOD OF PROCESSING INTEGRATED CIRCUITS BY PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP0182332(B1) 申请公布日期 1991.02.13
申请号 EP19850114615 申请日期 1985.11.18
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 SHEATS, JAMES R.
分类号 G03F7/26;G03C1/00;G03C5/00;G03F7/09;G03F7/095 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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