发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0371671(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890207264 申请日期 1989.08.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IDO YUKIO
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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