发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND LIQUID CRYSTAL IMAGE DISPLAY DEVICE USING THE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0750293(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930213549 申请日期 1993.08.06
申请人 CANON INC 发明人 SAKAMOTO MASARU
分类号 H01L21/18;H01L21/308;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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