OPTICAL SENSOR FOR DETERMINING THE ANGLE OF INCLINATION

摘要

Die Erfindung betrifft einen Neigungssensor (50) mit einer optischen Strahlungsquelle (6), einer sich nach der Schwerkraft richtenden Neigungsfläche (10), auf die die Strahlung der Strahlungsquelle (6) mit einem neigungsabhängigen Winkel fällt und mit einem ortsauflösenden optoelektronischen Detektor (7). Es werden optische Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) zur Abbildung der Strahlungsquelle (6) auf dem Detektor (7) monolithisch auf einem Grundkörper (1) integriert. Durch die monolithische Integration der optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) kann der Neigungssensor (50) miniaturisiert hergestellt werden, woraus sich günstige Herstellkosten, geringes Gewicht und geringer Platzbedarf ergeben. Die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) können reflektiver, refraktiver und diffraktiver Art sein. Dabei können sie auch derart strukturiert sein, dass sie auf dem Detektor (7) ein definiertes Intensitätsmuster liefern und so die Messgenauigkeit und den Winkelmessbereich des Neigungssensors (50) vergrössern.