接合された圧電層を伴う超音波センサ

摘要

本開示は、超音波エネルギーを検出するための超音波センサに関するシステム、方法、および装置を提供する。いくつかの実装形態では、超音波センサは、基板上に配設されたピクセル回路のアレイに接着剤によって接合された圧電受信機層を含み、アレイ中の各ピクセル回路は、少なくとも１つの薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を含み、ピクセル回路に電気的に結合されたピクセル入力電極を有する。超音波センサを形成する方法は、圧電送信機層をＴＦＴアレイに接合するステップを含む。