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发明名称 AUF SILIZIUM INTEGRIERTER GEBER FUER MECHANISCHE GROESSEN UND DESSEN HERSTELLUNGSVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3762462(D1) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 DE19873762462 申请日期 1987.06.10
申请人 METRAVIB R.D.S. S.A., ECULLY, FR 发明人 ANDRE, PIERRE, F-69005 LYON, FR;BAILLIEU, FRANCOIS, F-78120 RAMBOUILLET, FR;BROSSELARD, JEAN-PIERRE, F-75018 PARIS, FR;PERMUY, ALFRED, F-13012 MARSEILLE, FR;PIROT, FRANCOIS-XAVIER, F-75005 PARIS, FR;SPIRKOVITCH, SERGE, F-75015 PARIS, FR
分类号 G01P15/08;H01L27/20;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/08;H01L29/60 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
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