Relative pressure sensor

摘要

Zur Schaffung eines Relativdruck-Sensors mit frontbündiger Membran, bei dem die Referenzluft ihren aktuellen Taupunkt immer schon erreicht, bevor sie ins Gehäuse-Innere gelangt, unfaßt der Sensor (1) ein kapazitives, resistives oder piezoelektrisches Sensorelement (2) mit einer Membran (21). Eine von deren Außenflächen (211) kommt mit einem unter einem Druck stehenden Medium beim Messen in direkten Kontakt. Ein Gehäuse (7) hat einen Innenraum (71) und einen über den Innenraum weitgehend offenen Frontteil (72), in dessen Nähe die Membran den Innenraum derart verschließt, daß der Frontteil über die Membran vorsteht. Das Gehäuse ist mit einer durch den Frontteil von einer Außenseite aus angebrachten Bohrung (721) zur Führung von Referenzluft versehen. Diese Bohrung ist von der Außenseite her mit einem offenporigen, gut wärmeleitenden und hydrophob gemachten Filter (8) verschlossen. Dieses ist bevorzugt ein Sintermetall aus z.B. Bronze oder Edelstahl bzw. ein Metall-Schwann aus Titan oder Zirconium, die mit einer Imprägnierflüssigkeit getränkt wurde, die eingebrannt ist. Filter und Membran befinden sich somit auf möglichst gleicher Temperatur.