药液之定性方法、半导体装置之制造方法、及液晶显示装置之制造方法

摘要

本发明揭示一种药液之定性方法。该药液之定性方法系(a)对每个粒子尺寸，求出药液中之粒子数，(b)对每个上述粒子尺寸，预测上述药液给予使用该药液制造之被制造装置之影响。并且，利用上述(a)之结果与上述(b)之结果，求出上述药液给予上述被制造装置之影响程度。基于该求得之结果评估上述药液之品质，并基于该评估结果判断上述药液是否良好。基于该判断结果，将上述药液作为用于上述被制造装置之制造步骤之药液加以定性。