ディスペンサーの供給ユニットを自動的に調整する方法及び装置

摘要

供給装置は、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動をもたらすように構成されているガントリを備えるフレームと、ガントリに結合され、基板上に材料を供給するように構成されている第１の供給ユニット及び第２の供給ユニットとを備える。第２の供給ユニットは、自動調整機構によってガントリに結合される。供給装置は、ガントリ、第１のディスペンサー、第２のディスペンサー、及び自動調整機構の動作を制御するように構成されているコントローラーを更に備える。自動調整機構は、第２のディスペンサーをＸ軸及びＹ軸の方向に移動させ、第１の供給ユニットと第２の供給ユニットとの間の間隔を操作するように構成されている。基板上に材料を供給する方法が更に開示される。【選択図】図３