起泡器及其运送载气之方法

摘要

本发明系在提供一种起泡器，主要系指将液体或固体有机金属化合物输送至一反应器处之起泡器；该起泡器具有一内腔室及一外腔室且具有一位于其入口及出口之间的部件，该部件中具备复数个孔，该部件呈多孔盘之形式，该多孔盘中具有预定密度之孔以提供通过该起泡器之载气的最佳提取及流动。