发明名称 |
Sensor for semiconductor device manufacturing process control |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0493827(B1) |
申请公布日期 |
1996.02.28 |
申请号 |
EP19910122371 |
申请日期 |
1991.12.30 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G03F7/20;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|