| 摘要 |
비교적 낮은 온도에서 반응을 실시하고, 고체 규소로의 분해를 억제하면서, 저코스트로 고급 실란을 고수율로 제조하기 위한 촉매, 및 그 촉매에 의한 고급 실란의 제조 방법을 제공한다. 다공질 산화물을 포함하는, 저급 실란으로부터 고급 실란으로 변환하기 위한 촉매로서, 그 다공질 산화물이, 규칙적으로 배열되는 세공을 적어도 가지고, 주로 규소 산화물로 이루어지고, 또한, 알칼리 금속 및 알칼리토류 금속의 함유량이 0.00중량% 이상 2.00중량% 이하인 고급 실란의 제조 촉매이다. |
