付着物除去装置と、該付着物除去装置を用いた蒸着システムおよび除去方法

摘要

本発明の付着物除去装置（５Ａ）は、ワーク（３０）に付着した付着物を除去する付着物除去装置（５Ａ）であって、ワーク（３０）に向けて、雰囲気内で昇華する粒状体をワーク（３０）に向けて噴射して、ワーク（３０）から付着物を剥離させる粒状体噴射手段（５０）と、粒状体噴射手段（５０）によってワーク（３０）上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段（５２）とを備える。