半导体组件的晶粒跟踪装置及其测试设备

摘要

本发明提供一种新颖方法、系统及计算机程序产品，用以在材料从例如一工厂或批转移至另一个时跟踪晶粒单元(在例如一批转移过程期间有效地保持晶粒数据与个别晶粒间的对应)。本发明的一个或多个具体实施例希望通过对各晶粒单元(如，位于各批中的)指定个别晶粒ID并且将一范围的晶粒ID与一对应指针字符串相关的方式改进晶粒跟踪机构。当(例如)一些晶粒自例如一第一批转移至一第二批时，有关第一批的整个晶粒信息被拷贝至第二批，且将一不同指针字符串赋予第二批以指示已转移的实际晶粒或晶粒的范围。第一批的指针字符串接着被调整以指示转移后在第一批内剩余的晶粒。

主权项

1、一种用以在制造操作期间跟踪晶粒单元的方法，其至少包括如下操作步骤：向与多个晶粒单元一一对应的多个晶粒字符串指定第一指针字符串，其中该多个晶粒单元与一源对象相关，其中由第一指针字符串包含的指针的各范围识别该多个晶粒字符串的其中之一；当将至少一些所述晶粒单元自源对象转移至一接收对象时，将与多个晶粒单元相关联的多个晶粒字符串从源对象拷贝至接收对象；对与从源对象转移至接收对象的晶粒单元相关联的晶粒字符串指定第二指针字符串，从而指示已转移至接收对象的晶粒单元；调整在源对象中的第一指针字符串以指示该源对象中剩余的晶粒单元。