| 发明名称 | 用含氨基酸的组合物研磨内存或硬盘的方法 | ||
| 摘要 | 一种用以使内存或硬盘表面平坦或抛光的方法，包含用(i)研磨组合物，包含选自过硫酸盐和过氧化物的氧化剂、氨基酸和水，及(ii)磨料，研磨至少一部分表面。 | ||
| 申请公布号 | CN1209431C | 申请公布日期 | 2005.07.06 |
| 申请号 | CN01807598.3 | 申请日期 | 2001.04.03 |
| 申请人 | 卡伯特微电子公司 | 发明人 | 方明明;王淑敏 |
| 分类号 | C09G1/02 | 主分类号 | C09G1/02 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 贾静环;宋莉 |
| 主权项 | 1.一种用以使内存或硬盘表面平坦或对其进行研磨处理的方法，包括用(i)研磨组合物，包含(a)选自过硫酸盐和过氧化物的氧化剂、(b)氨基酸和(c)水，及(ii)磨料，研磨至少一部分表面；其中磨料选自氧化铝、二氧化硅、氧化钛、氧化铈、氧化锆、氧化锗、氧化镁和它们的组合；及其中氨基酸的存在量是以组合物计0.01-10重量％。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||