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发明名称
摘要
申请公布号
JP3161357(B2)
申请公布日期
2001.04.25
申请号
JP19970060723
申请日期
1997.03.14
申请人
发明人
分类号
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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