模块集成电路处理机的运载装卸装置

摘要

本发明是将模块集成电路容纳在运载器内并将其在各工序之间运送以进行检验，特别是涉及具备夹持住运载器的一侧使其在各工序之间移动的运载器运送装置，并具备在夹持住运载器的同时将其位置定位的运载器定位装置。其包括运送指定模块的运载器；将其从装载处所运送到卸载处所的运载器运送装置；在装载处所以及卸载处所上将运载器的位置更准确地定位，以使拾取组件可以将浅碟中的模块集成电路准确地装入运载器，或从运载器中卸载的运载器定位装置。

主权项

1.一种模块集成电路处理机的运载装卸装置，其特征在于由以下部分构成：运送指定的模块型的运载器(3)；将上述运载器从装载处所运送到卸载处所的运载器运送装置，上述运载器运送装置包括，缠绕在一对滑轮上的定时皮带(20)，该定时皮带装配成和与运载器的运送方向平行的角钢导轨(17)相垂直，由电动机驱动而转动，一端平扣在上述角钢导轨之上，而另一端固定在定时皮带上，依电动机的驱动沿角钢导轨移动的滑动机构(21)，与上述滑动机构的两端分别制成转动连结，用以固定运载器的两侧面的一对钩爪(22，23)，和将一边钩爪的一端与缸体制成铰接，将另一钩爪的一端与缸杆铰接，并可使该一对钩爪同时作向内侧收缩或张开的活动缸(25)；和在上述装载处所以及卸载处所上将运载器的位置更准确定位，以使拾取组件将模块集成电路能准确地从浅碟装入运载器，或者从运载器中卸载的运载器定位装置。