发明名称 DEVICE AND METHOD FOR SEPARATING AND COLLECTING HALIDE GAS
摘要
申请公布号 EP1360985(A4) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP20020711219 申请日期 2002.01.23
申请人 UBE INDUSTRIES, LTD. 发明人 YAMAMOTO, OSAMU;KINOUCHI, MASAYUKI;TAKADA, NAOKI;KASE, YOJI;KIKUCHI, MASAO
分类号 B01D53/22;B01D61/58;B01D71/02;B01D71/64;(IPC1-7):B01D61/58 主分类号 B01D53/22
代理机构 代理人
主权项
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