含碳的氮化铝烧结体,用于半导体制造/检测设备的基材

摘要

本发明目的是提供一种能保持10⁸Ω·cm或更大的体积电阻率的氮化铝烧结体，能保证覆盖能力，大的辐射热量和用温度显示器测定时的准确度。本发明的含碳氮化铝烧结体在其氮化铝构成的基体中包含在X射线衍射图中检测不到峰或其峰低于检测下限的碳。

主权项

1.一种含碳的氮化铝烧结体，在其氮化铝构成的基体中包含在X射线衍射图中检测不到峰或其峰低于检测下限的碳，所述碳是无定形碳或在氮化铝结晶相中形成固溶液的碳。