发明名称 |
掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法 |
摘要 |
本发明涉及一种掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法,其中,掩膜板光罩适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔,包括透明基板金属膜片,透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面;金属膜片平铺于所述第一平面,且所述金属膜片上形成有多个镂空孔,所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。根据本发明提供的掩膜板光罩,确保蚀刻形成的蒸镀孔尺寸和形状的精度更高,同时,操作简单,工艺过程更加简单,效率更高,形成的掩膜板产品的良率更高。 |
申请公布号 |
CN105785711A |
申请公布日期 |
2016.07.20 |
申请号 |
CN201610353518.2 |
申请日期 |
2016.05.25 |
申请人 |
唐军 |
发明人 |
唐军 |
分类号 |
G03F1/80(2012.01)I |
主分类号 |
G03F1/80(2012.01)I |
代理机构 |
广州市南锋专利事务所有限公司 44228 |
代理人 |
郑学伟;叶利军 |
主权项 |
一种掩膜板光罩,适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔,其特征在于,包括:透明基板,所述透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面;金属膜片,所述金属膜片平铺于所述第一平面,且所述金属膜片上形成有多个镂空孔,所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。 |
地址 |
518000 广东省深圳市坪山新区坪山办事处沙湖社区锦龙大道南2-10号厂房三楼东边 |