低温离子植入方法及低温离子植入机

摘要

一种低温离子植入方法包含以下步骤：预冷(pre-cool)来自一前开式传送盒的一工件至一较低温度，以配合低温离子植入的一工艺配方(recipe)；根据工艺配方对工件进行离子植入；及在工件被送回前开式传送盒前，后热(post-heat)工件至一较高温度。一种离子植入机包含：一处理室、一前开式传送盒、一冷却模块及一加热模块。在处理室内依一工艺配方一工件进行离子植入。前开式传送盒传送一工件进出处理室。冷却模块设置于处理室之外，且能在工件进行离子植入前，将工件预冷到一较低温度，以配合工艺配方。加热模块设置于处理室之外，且能在工件回到前开式传送盒前，后热工件到一较高温度。

主权项

一种低温离子植入方法，其特征在于，包含下列步骤：将一工件预冷至一第一温度，以符合一低温离子植入的一工艺配方；根据该工艺配方对该工件进行植入；及在该工件被送回一前开式传送盒前，在一装载舱后热该工件至一第二温度，且该第二温度高于该第一温度。