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(과제) 직경/두께비 (어스펙트비) 가 작은 인편 형상의 서브미크론으로 고순도, 고결정성의 질화붕소 미립자를 제공한다. (해결 수단) 평균 입자 직경이 0.05 ∼ 2.0 ㎛, 흑연화 지수가 3 이하, 전체 산소량이 0.20 질량％ 이하, 및 인편 형상 입자의 장경/두께비의 평균값이 6.0 이하인 것을 특징으로 하는 질화붕소 미립자, 및, 불활성 가스 분위기하, 암모니아/붕산알콕시드의 몰비가 1 ∼ 5 인 암모니아와 붕산알콕시드를 반응 용기에 도입하고, 800 ∼ 1,350 ℃, 30 초 이내에서 가열하여, 질화붕소 전구체를 얻은 후, 이 질화붕소 전구체를 불활성 가스 분위기하, 1,650 ∼ 2,200 ℃, 0.5 시간 이상으로 가열하는 것을 특징으로 하는 질화붕소 미립자의 제조 방법이다. |
