发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SUPER HIGH FREQUENCY INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5210077(A) 申请公布日期 1977.01.26
申请号 JP19750086374 申请日期 1975.07.15
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YAMAGUCHI SHIYOUJI
分类号 H01L23/12;H01L21/58 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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