MOLYBDENUM SILYLCYCLOPENTADIENYL AND SILYLALLYL COMPLEXES AND USE THEREOF IN THIN FILM DEPOSITION

摘要

본 발명은 몰리브덴 착화합물, 및 CVD 및 ALD와 같은 박막 증착에서의 이의 용도를 제공한다. 본 발명의 몰리브덴 착화합물은 식 I의 구조에 상응한다:상기 식 I에서, R, R, R, R, R, R, R, R, R및 R은 독립적으로 수소, 알킬 및 트리알킬실릴로 이루어진 군으로부터 선택되며; R, R, R, R, R, R, R, R, R및 R중 하나 이상은 트리알킬실릴임.