发明名称 在一高真空蒸气淀积或喷溅系统内握持及转动镜片的装置
摘要 用以握持及转动镜片,尤其是在高真空蒸气沉积或喷溅系统中涂镀之眼镜片之一种装具。带欲加以握持之镜片之一对环置于高真空系统之处理室中之一握持基座上。握持基座为一板金部份,制成半壳之形状,并可绕一垂直轴线旋转。一镰刀形之板金空架形成一耙,部份覆盖于握持基座上。该耙由一导环支持及引导,导环可沿握持基座之旋转轴线之方向移动。该耙可由固定于室壁上之一举升马达之举升元件移动。该耙含有各个别之叉齿接合各个别之叉齿,叉齿具有下边缘面向携架基座。叉齿接合各个别镜片握持架上之小齿轮或齿轮。镜片握持架由钉装于基座上,从使镜片握持架可旋转180。在举升机构降下该耙,从而使耙之叉齿可接合齿轮或小齿轮后,由转动握持基座而转动镜片握持架。
申请公布号 TW175120 申请公布日期 1991.12.11
申请号 TW080210315 申请日期 1990.06.28
申请人 巴尔杰思和蓝伯德控股有限公司 发明人 米契尔弗利德尼;希兹马尔;狄特克林根斯田;乔治库克尔
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.用以握特及转动在高真空蒸气沉积及喷溅系统中涂镀之眼镜片之一种装具,包含:一半壳形之握持基座,适于安装于该高真空系统之一处理室中;至少一镜片握持架,以可转动式连接于该握持基座;至少一镰刀形板金耙,部份覆盖于握持基座上;叉装置,在该至少一耙上,可加以致动,以接合及转动该至少镜片持架;用以支持该耙之一边缘于距握持基座之一外表面一小距离并与其成相对关系之位置之装置;及用以使该该耙握持基座之旋转轴线转并致动该叉装置之装置。 l2.用以握持及转动在高真空蒸气沉积或喷溅系统中涂镀之眼镜片之一种装具,该装具包含至少一镜片握持架,该握持架可连接于一握持基座,握持基座保持于高真空系统之一处理室中,在一涂镀源邻近,该装具包含:枢轴装置,用以可转动式安装该至少一镜片握持架于喔持基座;驱动装置,用以使握持基座绕一垂直旋转轴线旋转;一耙组件,包含至少一镰刀形之耙,部份覆盖于握持基座上;举升装置,固定于处理室中,用以沿该握持基座之旋转轴线移动耙组件;及叉齿装置,在该至少一耙上,用以在握持基座之旋转期间中,选泽接合该枢轴装置,及用以转动该至少一镜片握持架。3.如申请专利范围第 2 项所述之装置,且其中:该枢轴装置包含多个齿轮,分别与每一镜片握持架相连;及该叉齿装置包含多个叉齿,置于沿该至少一耙上之分开位置处。4.如申请专利范围第 3 项所述之装具,另包含:一举升环,与握持基座之旋转轴线同心,并由关节连接于耙组件之一第一端;一连接环,贴靠于携带基座之圆周上,并横向于携带基座之旋转轴线设置,该连接环由关节连接于靶组件之第二端;及连接装置,连接于该连接环,用以固定该举升装置于耙组件上。5.如申请专利范围第 4 项所述之装具,另包含安全装置,用以使叉齿在与一阻止或禁止转动之齿轮接合时能暂时屈服。6.如申请专利范围第 2 项所述之装具,且其中,该叉齿装置具有自由端,包含齿节装置,用以接合该枢轴装置。7.用以握持及转动在高真空蒸气沉积或喷溅系统中涂镀之眼镜片之一种装具,该装具包含至少一镜片握持架,该握持架可连接于一握持基座,握持基座保持于高真空系统之处理室中,在一涂镀源邻近,该装具包含:可选泽致动之枢轴装置,用以可独立转动式安装该至少一镜片握持架于握持基座上;及耙装置,用以扫过握持基座之外表面上,以致动该枢轴装置。图示简单说明:图 1 为一高真空蒸汽沉积系统之部份断面图,该系统中使用本创作。图 2 为部份球形之携带基座之透视图。图 3 及 4 为概要透视图,显示构成镜片握持架之各别环。图 5 为组合一起之图 3 及 4 之环之侧断面图。图 6 为断面详图,部份切去,显示一镜片装于二环之间。图 7 为一耙及握持基座之侧断面图,部份切去。图 8 为耙,镜片握持架,及叉齿装置之切去透视图。
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