| 主权项 |
1.一种真空排气系统,其系包含:真空腔室;用以将气体导入该真空腔室之装置;主泵,用以排除该真空腔室中之气体,并且将该真空腔室之压力降低至希望的压力値;辅助泵,其系配置在该主泵下游;以及用以将该主泵及该辅助泵连接在一起之管路,其中:用以做为该主泵与该辅助泵之间之连接部位之连接管路之外径系1/2英寸(12.7毫米)或以下;且该连接管路之长度以及该辅助泵性能之配合,系使得该主泵之背压可变成5托(Torr)或以上。2.一种真空排气系统,其系包含:真空腔室;用以将气体导入至该真空腔室之装置;主泵,用以排除该真空腔室中之气体,并且将该真空腔室之压力降低至希望的压力値;辅助泵,配置在该主泵下游;以及用以将该主泵及该辅助泵连接在一起之管路,其中:用以做为该主泵与该辅助泵之间之连接部位的连接管路之外径尺寸,系使该连接管路可藉由现场管路弯折来加以组装;且该连接管路之长度以及该辅助泵性能之配合,系使得该主泵之背压可变成5托(Torr)或以上。3.一种形成真空排气系统之方法,其中该真空排气系统系包含:真空腔室;用以将气体导入至该真空腔室之装置;主泵,用以排除该真空腔室中之气体,并且将该真空腔室之压力降低至希望的压力;辅助泵,配置在该主泵下游;以及用以将该主泵及该辅助泵连接在一起之管路,其中:用以做为该主泵与该辅助泵之间之连接部位的连接管路,系藉由现场管路弯折来加以组装。4.如申请专利范围第1或第2项之真空排气系统,其中:该主泵系具有叶片排气部分,此叶片排气部分系由可动叶片以及固定叶片交替配置而构成;以及该叶片排气部分之至少一部分系构成径向叶片排气部分,此径向排气部分系在该可动叶片及固定叶片之相对表面的至少一方上形成有突伸部以及凹入部。5.如申请专利范围第3项所述之形成真空排气系统之方法,其中:该主泵系具有叶片排气部分,此叶片排气部分系由可动叶片以及固定叶片交替配置而构成;以及该叶片排气部分之至少一部分系构成径向叶片排气部分,此径向排气部分系在该可动叶片及固定叶片之相对表面的至少一方上形成有突伸部以及凹入部。图式简单说明:第1图系显示本发明之真空排气系统之一实施例的整体外型及配置;第2图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之一实施例的截面视图;第3A图系显示第2图之主要部分,而第3B图系该主要部分之截面视图;第4图系一图表,其中显示本发明之真空排气系统与习知例之性能比较;第5图系一图表,其中显示本发明之真空排气系统之排气速度曲线;第6图系一图表,其中显示习知真空排气系统之排气速度曲线;第7图系显示本发明之真空排气系统的另一实施例;第8A图及第8B图系显示使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵的另一实施例,其中第8A图系显示此一实施例之主要部分,而第8B图则系该主要部分之截面视图;第9图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之又一实施例之截面视图;第10图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之再一实施例之截面视图;第11图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之又另一实施例之截面视图;第12图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之又再一实施例之截面视图;第13图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之再另一实施例之截面视图;第14图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之又另一实施例之截面视图;第15图系使用在本发明真空排气系统中之涡轮真空泵之再又一实施例之截面视图;第16A图至第16D图系截面视图,其中显示依照本发明在涡轮分子泵中设置突伸部及凹入部之修饰实例;第17A图至第17E图系截面视图,其中显示依照本发明在涡轮分子泵中设置突伸部及凹入部之其他修饰实例;第18图系显示本发明之真空排气系统之又一实施例;第19图系显示本发明之真空排气系统之再一实施例;第20图系显示本发明之真空排气系统之又另一实施例;以及第21A图及第21B图系显示管路之弯折部,第21A图系显示在本发明之系统中的弯折部,而第21B图系显示在习知系统中之弯折部。 |
