热-湿-气多功能敏感陶瓷元件及其制造方法

摘要

该多功能敏感陶瓷元件是由Ba(Ti1-xSnx)O3，x＝0.05～0.5组成的P型半导体多孔陶瓷，经加入造孔剂、松装成型和轻度烧结形成三维连通网状结构。本发明利用介电常数与温度剧烈的依赖关系以及水和气体在多孔陶瓷表面吸附导致电阻的显著变化，采用电参量分离、温度分离和频率分离技术，实现对环境气氛的温度、湿度和一些可燃性还原气体进行检测，在热-湿-气三方面都有良好的敏感特性，并具有检测的可分离性好，感度高，响应速度快，滞后小，抗氧化还原和耐热冲击性好等特点，可用于空调机、烘干机和微波灶，粮食和食品仓库，食品、烟草和皮革加工以及纺织、印染和石油化工等生产过程的温度-湿度-还原性气体的检测。

主权项

1.一种用单个元件能检测温度-湿度-气体的多功能敏感陶瓷元件，它由基片〔1〕，电极〔2〕，〔3〕和引线〔4〕，〔5〕和〔6〕所组成，其特征在于基片〔1〕的基料是由Ba(Ti1-xSnx)O3，x＝0.05～0.5系列的P型金属氧化物多孔陶瓷半导体材料组成。