| 摘要 |
<p>La présente invention concerne une interface SMIF utilisée pour la mise en mémoire tampon d'une ou de plusieurs cassettes (110) dans un mini-environment (120) fixé à un outil de traitement. Cette interface comprend un port de chargement constitué d'une porte de port (112) et d'une plaque de port (114) circonvoisine de celui-ci, et un mini-environnement monté sur la plaque de port. L'interface SMIF et/ou l'outil de traitement comprend au moins une étagère (121) pour contenir une cassette après que le port de chargement sépare la cassette de sa nacelle de transport (106). Pendant le fonctionnement, lorsqu'une première cassette est dans l'outil de traitement, une seconde nacelle est posée sur le port de chargement, la cassette est séparée de la nacelle puis rangée sur une étagère de rangement. Lorsque le traitement de la première cassette est terminé, la seconde cassette est chargée sur l'outil de traitement. La première cassette est retournée à la nacelle, puis enlevée du port de chargement. En assurant une mise en mémoire tampon de cassettes dans un mini-environnement de l'interface SMIF, l'outil de traitement ne dépend plus de la distribution en temps utile des nacelles à l'interface pour s'assurer que l'outil de traitement ne reste pas inactif.</p> |
