模板

摘要

一种模板，系由包含基材和置于该基材上之单相聚合物层的成层结构所形成。该聚合物层包含织构面，由该聚合物层中的应力诱导引发织构化。该模板可用于奈米级结构之制造，该制造方法包含以下的步骤：提供模板并使材料模铸于该模板上，接着自该模板移除经模铸的材料以提供奈米级的结构，例如阵列、栅格、光学装置或电子装置。该模板可藉由包含以下步骤之方法完成：在基材上沈积单相聚合物层，在该单相聚合物的玻璃转移温度(Tg)以下的温度烘烤所得到的结构，在该聚合物层中诱发应力使该聚合物的表面织构化，以及使所得到的结构退火以提供模板。