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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5487065(U) 申请公布日期 1979.06.20
申请号 JP19770162586U 申请日期 1977.12.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L23/04;H01L25/10;(IPC1-7):H01L25/10 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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