发明名称 Photosensitive composition.
摘要
申请公布号 EP0009223(A2) 申请公布日期 1980.04.02
申请号 EP19790103453 申请日期 1979.09.14
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL INDUSTRIES LIMITED 发明人 SHIMIZU, SHIGEKI;OSHIMA, AKINOBU
分类号 C08F2/00;C08F2/54;C08G63/00;C08G63/52;C08G63/676;G03F7/032;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;C08G63/66 主分类号 C08F2/00
代理机构 代理人
主权项
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