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发明名称 INTERATOMIC-FORCE-MICROSCOPE DETECTION APPARATUS BY DIFFERENTIAL HETERODYNE INTERFEROMETER USING OPTICAL-FIBER ARRAY
摘要
申请公布号 JPH0712545(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930212069 申请日期 1993.06.28
申请人 NAKATANI NOBORU 发明人 NAKATANI NOBORU
分类号 G01B9/02;G01B11/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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