发明名称 Novel masking technique for depositing gallium arsenide on silicon
摘要
申请公布号 HK1001332(A1) 申请公布日期 1998.06.12
申请号 HK19980100342 申请日期 1998.01.15
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 WU ALBERT T;SHINJI NOZAKI;THOMAS GEORGE;LEE SANDRA S;MASAYOSHI UMENO
分类号 C23C14/04;C23C16/04;H01L21/20;(IPC1-7):C23C;H01L 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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