| 主权项 |
1.一种过滤器更换时机检测方法,适用于藉由以既定转速来驱动具有一定电流驱动之供液装置的泵来将流体经由过滤器而由喷嘴喷洒至被喷洒物,且上述过滤器更换时机检测方法包括下列步骤:以较上述既定转速高的检测转速来驱动上述供液装置;以及检测上述喷嘴是否有上述流体喷出,若上述喷嘴未喷出上述流体,则更换上述过滤器。2.如申请专利范围第1项所述过滤器更换时机检测方法,其中上述检测转速的设定方法包括下列步骤:设置一堪用过滤器;以上述既定转速来驱动上述供液装置,并检测由上述喷嘴所喷出至上述被喷洒物的上述流体,直至检测到上述流体有缺陷为止;以及提高上述供液装置的转速,直到上述喷嘴停止喷出上述流体为止,则定此时的供液装置的转速为上述检测转速。3.如申请专利范围第1或2项所述过滤器更换时机检测方法,其中上述供液装置为步进马达。4.如申请专利范围第3项所述过滤器更换时机检测方法,其中上述流体为光阻。5.如申请专利范围第4项所述过滤器更换时机检测方法,其中上述被喷洒物为晶圆。6.如申请专利范围第5项所述过滤器更换时机检测方法,其中上述过滤器与上述喷嘴之间更设置有阀门。图式简单说明:第一图系显示光阻被覆设备的示意图;第二图系显示适用于本发明之光阻被覆设备的示意图;以及第三图系显示具有一定电流驱动之步进马达的转速与转矩的曲线图。 |
