检测晶圆盒之卡匣是否变形的方法

摘要

一种检测晶圆盒之卡匣是否变形的方法，其包含有两实施型态，其中，第一种型态系于定位一卡匣后，再往卡匣之一受测部发射一检测光束，接着，接收通过受测部之检测光束而获得一接收值，最后，将该接收值与一预定值比对而可检测卡匣是否变形，第二种型态系首先定位一卡匣，再往卡匣之一受测部发出一检测波，并接收由受测部反射之检测波而获得一接收值，最后，将该接收值与一预定值比对而可检测卡匣是否变形。