发明名称
摘要
申请公布号 JPS6226458(Y2) 申请公布日期 1987.07.07
申请号 JP19810138314U 申请日期 1981.09.18
申请人 发明人
分类号 C30B15/30;C30B15/00;C30B15/24;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/24 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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