发明名称 |
Force transducer using optical wave guiding elements integrated in a substrate. |
摘要 |
L'invention se rapporte à la mesure des forces ou des contraintes et concerne plus particulièrement un capteur de force à guide d'ondes optique intégrant sur un même substrat (12) - un guide d'ondes monomode (2) transducteur supportant seul les contraintes qui sont appliquées par l'intermédiaire d'un plateau supérieur (14) - un réseau de couplage-mixage (7) composé de N réseaux concaves focalisateurs (7a et 7b) - N filtres de polarisation TM (8 et 9) disposés respectivement entre chaque réseau concave (7a et 7b) et chaque détecteur (10 et 11) et supportant - une source laser (1) et - N détecteurs (10 et 11) disposés à chacun des N points de focalisation des ondes diffractées par le réseau de couplage-mixage (7)
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申请公布号 |
EP0360759(A1) |
申请公布日期 |
1990.03.28 |
申请号 |
EP19890810710 |
申请日期 |
1989.09.20 |
申请人 |
CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A. |
发明人 |
PARRIAUX, OLIVIER;NEUMAN VICTOR;VOIRIN, GUY |
分类号 |
G01L1/24;G02B6/00;G02B6/12;G02F1/01 |
主分类号 |
G01L1/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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