发明名称 Force transducer using optical wave guiding elements integrated in a substrate.
摘要 L'invention se rapporte à la mesure des forces ou des contraintes et concerne plus particulièrement un capteur de force à guide d'ondes optique intégrant sur un même substrat (12) - un guide d'ondes monomode (2) transducteur supportant seul les contraintes qui sont appliquées par l'intermédiaire d'un plateau supérieur (14) - un réseau de couplage-mixage (7) composé de N réseaux concaves focalisateurs (7a et 7b) - N filtres de polarisation TM (8 et 9) disposés respectivement entre chaque réseau concave (7a et 7b) et chaque détecteur (10 et 11) et supportant - une source laser (1) et - N détecteurs (10 et 11) disposés à chacun des N points de focalisation des ondes diffractées par le réseau de couplage-mixage (7)
申请公布号 EP0360759(A1) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 EP19890810710 申请日期 1989.09.20
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A. 发明人 PARRIAUX, OLIVIER;NEUMAN VICTOR;VOIRIN, GUY
分类号 G01L1/24;G02B6/00;G02B6/12;G02F1/01 主分类号 G01L1/24
代理机构 代理人
主权项
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