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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04365369(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910141690 申请日期 1991.06.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYATAKE HIROSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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